Перейти на главную страницу
по образованию в области информатики
и радиоэлектроники
« 03 » июня 2003 г.
Регистрационный № ТД-41-026/тип.
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
Учебная программа для высших учебных заведений
по специальностям І-41 01 02 Микро- и наноэлектронные
технологии и системы, І-41 01 03 Квантовые информационные системы
Согласована с Учебно-методическим управлением БГУИР
« 28 » мая 2003 г.
Составитель:
В.А. Петрович, доцент кафедры микроэлектроники Учреждения образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники», кандидат технических наук
Рецензенты:
Ф.П. Коршунов, заведующий лабораторией радиационных воздействий Института физики твердого тела и полупроводников Национальной академии наук Беларуси, член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси, профессор, доктор технических наук;
В.М. Колешко, заведующий кафедрой «Интеллектуальные системы» Учреждения образования «Белорусская государственная политехническая академия», профессор, доктор технических наук;
В.И. Курмашев, профессор Инженерного центра «Плазматэг» Национальной академии наук Беларуси, доктор технических наук
Рекомендована к утверждению в качестве типовой:
кафедрой микроэлектроники Учреждения образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» (протоколы № 6 от 13.01.2003 г., №7 от 04.03.2002 г.);
Научно-методическим советом по направлениям І-36 Оборудование и І-41 Компоненты оборудования УМО вузов Республики Беларусь по образованию в области информатики и радиоэлектроники (протоколы № 3 от 28.02.2003 г., №1 от 25.10.2002 г.)
Разработана на основании Образовательного стандарта РД РБ 02100.5.030-98.
Ответственный за редакцию: Т.Н. Крюкова
Ответственный за выпуск: Ц.С. Шикова
Целью преподавания ФТТ является передача студентам глубоких и всесторонних знаний по физическим свойствам используемых в микроэлектронике твердых тел: металлов, полупроводников и диэлектриков, методам управления электрофизическими свойствами этих тел, методам контроля их параметров.
Преподавание дисциплины ФТТ базируется на материале общенаучных дисциплин «Физика», «Физическая химия», «Квантовая механика и статистическая физика». ФТТ представляет собой, с одной стороны, базу для дисциплин специального цикла, и, с другой стороны, – базу для дисциплин специализаций.
В результате изучения дисциплины «Физика твердого тела» студенты должны:
- основные свойства и методы испытания полупроводников, диэлектриков и металлов;
- основные положения современной кристаллофизики и методы исследования поверхностных и объемных свойств идеальных и реальных кристаллических и аморфных твердых тел;
уметь:
- использовать теоретические знания и стандартные обозначения физических величин при расчетах физических процессов и применять их при анализе явлений в твердых телах в различных условиях;
- качественно и количественно анализировать основные физические процессы, реализуемые на границах раздела различных твердых тел с окружающей средой.
Программа рассчитана на 105 часов лекционного материала (70 часов – для специальности 1-41 01 02), 35 часов лабораторных и 35 часов практических занятий. Кроме этого, предусмотрено выполнение курсовой работы (для специальности 1-41 01 02), в которой студентам предлагается самостоятельно и углубленно проанализировать один из вопросов «Физики твердого тела».
Распределение Максвелла-Больцмана; электронные плотности; статическая электропроводность металлов; время релаксации; обобщенное уравнение движения электронов в металлах в модели Друде; эффект Холла и магнетосопротивление; циклонная частота; высокочастотная электропровод-ность металлов; теплопроводность металлов.
Распределение Ферми-Дирака; периодические условия Борна-Кармана; волновой вектор, импульс и энергия Ферми; поверхность Ферми; свойства электронного газа в основном состоянии; термодинамические свойства электронного газа.
Положение элементов, обладающих полупроводниковыми свойствами, в периодической таблице элементов; неорганические и органические полупроводниковые соединения. Кристаллы, их симметрия. Решетка Бравэ; обратная решетка; индексы Миллера.
Свободный электрон. Скорость, импульс, волновой вектор, длина волны и энергия электрона. Выражения, определяющие групповую скорость и массу электрона.
Движение электрона в кристалле. Волновые функции Блоха. Зоны Бриллюэна для различных кристаллов. Модельные представления периодического потенциального поля для расчета энергетического спектра и характеристик движения электрона в кристалле.
Тема 2.3. СВОЙСТВА ВАЛЕНТНЫХ ЭЛЕКТРОНОВ В
ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ
Модель Кронига-Пенни. Энергетический спектр электронов в периодическом потенциальном поле. Физический смысл понятия эффективной массы. Эффективная масса и скорость электрона. Зависимость величины эффективной массы и групповой скорости электрона от его волнового вектора. Квазиимпульс. Изоэнергетические поверхности. Различия эффективных масс дырок и электронов. Определение эффективных масс носителей заряда методом циклонного резонанса.
Металлы, полупроводники и диэлектрики в зонной теории. Зонная структура основных полупроводниковых материалов. Зависимость ширины запрещенной зоны полупроводниковых материалов от температуры и давления.
Дефекты кристаллической решетки и их влияние на энергетический спектр электронов. Микроскопические и макроскопические дефекты. Границы зерен. Дефекты типа Френкеля и типа Шоттки. Отклонение от стехиометрического состава. Примеси.
Донорные и акцепторные примеси. Образование примесной зоны. Многозарядные примесные центры. Экситоны Френкеля и Мотта. Поляроны. Поверхностные уровни Тамма.
Гальваномагнитные и магнитоакустические методы; метод циклотронного резонанса; методы оптического и термического возбуждения локальных энергетических уровней.
Распределение носителей заряда по зонам в диэлектриках, полупроводниках и металлах. Плотность разрешенных состояний. Уровень Ферми.
Концентрация электронов и дырок в полупроводниках и их температурные зависимости в случаях собственной и примесной электропроводности. Закон действующих масс для носителей заряда в полупроводниках. Влияние температурной зависимости ширины запрещенной зоны на концентрацию носителей заряда. Температурная зависимость положения уровня Ферми в невырожденных полупроводниках. Компенсированные полупроводники.
Вырожденные полупроводники. Низко- и высокотемпературное вырождение. Концентрация электронов и дырок в сильновырожденных полупроводниках. Концентрации электронов и дырок в слабовырожденных полупроводниках.
Характеристики неравновесного состояния электронов и дырок в полупроводниках. Квазиуровни Ферми. Функция распределения неравновесных носителей заряда.
Сечение рекомбинации. Уравнение непрерывности. Время жизни не- равновесных носителей заряда. Линейная и квадратичная рекомбинации. Максвелловское время релаксации.
Межзонная рекомбинация. Время жизни носителей заряда при излучательной рекомбинации. Безызлучательная рекомбинация.
Рекомбинация через рекомбинационные уровни. Модель Холла –Шокли - Рида. Методы управления временем жизни носителей заряда и его зависимость от положения уровня Ферми. Температурная зависимость времени жизни при рекомбинации через локальные уровни. Определение энергетического положения рекомбинационных уровней. Методы контролируемого введения рекомбинационных уровней в микроэлектронике.
Тема 5.4. ДИФФУЗИОННЫЕ И ДРЕЙФОВЫЕ ТОКИ
Диффузионные и дрейфовые токи в полупроводниках. Соотношение Эйнштейна. Диффузия и дрейф избыточных носителей в полупроводниках. Диффузионная длина. Длина экранирования Дебая.
Движение электрона в кристалле в отсутствие рассеяния. Энергетический спектр полупроводника, помещенного в электрическое поле. Движение электронов и дырок в случае рассеяния. Среднее время и средняя длина свободного пробега и подвижности носителей заряда.
Механизмы рассеяния носителей заряда в полупроводниках. Рассеяние электронов на ионизованных примесях. Тепловые колебания кристаллической решетки. Энергетический спектр колебания решетки. Рассеяние носителей заряда на колебаниях решетки. Междолинное рассеяние. Рассеяние электронов на свободных носителях заряда, неионизованных примесях и дислокациях.
Температурная зависимость подвижности в случае одновременного действия нескольких механизмов рассеяния.
Тема 6.3. ПРОВОДИМОСТЬ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Влияние сильных электрических полей на подвижность носителей заряда. Эффект Ганна. Проводимость полупроводников. Зависимость проводимости от концентрации примесей и температуры.
Поляризованность диэлектриков. Мгновенная и релаксационная поляризации диэлектриков. Расчет диэлектрической проницаемости и температурного коэффициента диэлектрической проницаемости; частотная дисперсия.
Электронная и ионная проводимости диэлектриков. Зависимость концентрации и подвижности носителей заряда от температуры. Прыжковая электропроводность диэлектриков. Токи, ограниченные объемным зарядом. Пробой диэлектриков.
Макроскопическое описание диэлектрических потерь. Комплексная диэлектрическая проницаемость. Тангенс угла диэлектрических потерь. Ток смещения. Активная составляющая тока смещения и определяемая ею мощность диэлектрических потерь.
Диэлектрические потери при релаксационной поляризации. Ионная поляризация в области резонанса; особенности спектра диэлектрической проницаемости. Область частот полного отражения. Инфракрасное поглощение.
Тема 7.4. Сегнето- И ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСТВО
Сегнетоэлектрики и пьезоэлектрики. Фазовые переходы и спонтанная поляризация. Симметрия кристаллов и пьезоэлектрические модули. Пьезоэффект в кварце. Электрострикция. Электрооптические свойства в кристаллах. Электреты.
Энергетические диаграммы полупроводников, металлов и диэлектриков. Работа выхода, энергия сродства, уровень Ферми. Внешняя и внутренняя работа выхода.
Причина возникновения области пространственного заряда (ОПЗ) в приповерхностных слоях твердых тел. Оценка толщины ОПЗ. Обогащенная, обедненная и инверсная ОПЗ.
Общие принципы построения энергетических диаграмм контактирующих твердых тел. Изотипные и анизотипные контакты. Гетеропереходы. Влияние температуры на вид энергетических диаграмм контактирующих тел.
Тема 8.3. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ДИАГРАММЫ ТВЕРДЫХ ТЕЛ,
НАХОДЯЩИХСЯ ВНЕ ВАКУУМА: СОСТОЯНИЕ
НАРУШЕННОГО РАВНОВЕСИЯ
Энергетические диаграммы контактирующих тел в состоянии нарушенного термодинамического равновесия. Квазиуровни Ферми в пределах ОПЗ. Прямое и обратное включение контакта. Токи через границу раздела. Инжекция и экстракция основных и неосновных носителей заряда. Барьерная и диффузионная емкости контакта.
Упругие волны в пьезоэлектрических полупроводниках. Объемные и поверхностные волны. Взаимодействие упругих волн с носителями заряда в полупроводниках: усиление и поглощение упругих волн. Усиление поверхностных упругих волн при взаимодействии с электронами. Акусто-электрический эффект. Физические основы практического использования поверхностных акустических волн.
Аморфные полупроводники. Электропроводность неупорядоченных структур и локализация электронных состояний.
Сверхтонкие материалы; размерные эффекты в твердых телах. Диэлектрическая проницаемость металлов. Металлооптика.
Прямозонные и непрямозонные твердые тела. Прямые и непрямые оптические переходы. Внутризонное и межзонное поглощение; частотная дисперсия.
Собственная и примесная фотопроводимость. Эффекты очувствления, суперлинейности, температурного и ИК-гашения фотопроводимости.
Методы получения тонких пленок (общие сведения). Методы контроля и изучения строения тонких пленок. Эффекты электромиграции и массопереноса.
Основные понятия. Размерные эффекты на длине остывания, на длине Дебая, на длине свободного пробега по импульсу. Размерные эффекты в многодолинных полупроводниках и квантовые размерные эффекты.
Влияние поверхностных состояний на основные электрофизические характеристики полупроводников и диэлектриков. Спектр разрешенных и запрещенных энергий в приповерхностных слоях. Электрическая прочность и механизмы электропроводности тонких диэлектрических пленок.
Энергия магнитного дипольного взаимодействия. Взаимодействие электронов и магнитная структура. Теория Кондо. Магнитное упорядочение.
Ферромагнетизм. Доменная структура. Физика полосковых и цилиндрических магнитных доменов.
Взаимодействие электронных, нейтронных, протонных, ионных и γ-потоков с твердыми телами; механизмы образования первичных радиационных дефектов.
Подвижность и температурная устойчивость первичных и вторичных радиационных дефектов. Радиационное повреждение зонной структуры твердых тел.
Радиационная деградация времени жизни носителей заряда, их концентрации и подвижности в полупроводниках; инверсия типа проводимости полупроводников. Накопление объемного заряда в диэлектриках под действием радиационных облучений.
Предусматриваются задание задач на дом, а также обязательная отчетность каждого студента по вопросам, изучаемым на практических занятиях.
Постоянный контроль, поэтапная сдача экзамена в течение семестра, десятибалльная система оценки знаний и система «штрафов» исключают недобросовестную работу каждого студента.
КУРСОВАЯ РАБОТА ПО ПРЕДМЕТУ ФТТ
Целью курсового проектирования является обучение навыкам самостоятельной разработки одного из вопросов теории твердого тела, включая самостоятельный поиск учебной и (или) научной литературы, а также изложения сути физических явлений в «пояснительной записке» и иллюстративном материале на плакатах. Одна из главных задач – это умение изложить изученный вопрос перед группой студентов в виде устного доклада и обсуждение доклада с участием всей группы под контролем и с помощью преподавателя.
Предусмотрена также фактическая исследовательская работа студентов в учебных и научных лабораториях кафедры микроэлектроники БГУИР под руководством преподавателя или научного сотрудника кафедры.
Учебно-методическое объединение высших учебных заведений Республики Беларусь по экологическому образованию
01 10 2014
1 стр.
Д. В. Гололобов доцент кафедры теоретических основ радиотехники Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники, кандидат технических наук
14 12 2014
20 стр.
18 12 2014
1 стр.
Учебно-методическое объединение высших учебных заведений Республики Беларусь по гуманитарному образованию
14 12 2014
1 стр.
Учебно-методическое объединение высших учебных заведений Республики Беларусь по гуманитарному образованию
25 09 2014
1 стр.
Председатель учебно-методического объединения высших учебных заведений Республики Беларусь по гуманитарному образованию
03 09 2014
2 стр.
Учебно-методическое объединение высших учебных заведений Республики Беларусь по образованию в области горнодобывающей промышленности
01 10 2014
1 стр.
Председатель учебно-методического объединения вузов Республики Беларусь по гуманитарному образованию
16 12 2014
5 стр.